LTCC 濾波器的設(shè)計(jì)通常是基于經(jīng)典濾波器設(shè)計(jì)理論,從結(jié)構(gòu)上講,主要有兩種結(jié)構(gòu),一種是采用傳統(tǒng)的 LC 諧振單元結(jié)構(gòu),諧振單元由集總參數(shù)的電容電 感組成,另一種是采用多層耦合帶狀線結(jié)構(gòu)。本文所設(shè)計(jì)的低通濾波器采用第一種集總參數(shù)形式,理想化低通濾波器電路原理圖如圖3所示。
本文設(shè)計(jì)的LTCC濾波器中的集總參數(shù)的電容和電感通過 LTCC多層陶瓷集成在陶瓷基板內(nèi)部。LTCC 內(nèi)埋植電容的設(shè)計(jì)一般采用兩種方式:垂直交指 型(VIC)電容和金屬-介質(zhì)-金屬(MIM)電容。本文設(shè)計(jì)的濾波器的內(nèi)埋置電容元件采用垂直交指型(VIC)電容,在相同電容量的情況下,VIC 結(jié)構(gòu)電容相比 MIM 結(jié)構(gòu)電容能夠大大減小端電極面積,從而有效減小濾波器尺寸。
LTCC 內(nèi)埋電感有平面螺旋電感、堆棧螺旋電感、多層螺旋電感等方式,本文設(shè)計(jì)的低通濾波器內(nèi)埋植電感元件采用多層螺旋結(jié)構(gòu)的電感,在相同的有效電感值下此結(jié)構(gòu)比平面螺旋式、堆棧螺旋式等結(jié)構(gòu)具有更高的自諧振頻率和品質(zhì)因子。